分辨率0.4μm的開放感X線源（TX-320）搭載，微型電子部件到實裝基板都能使用的納米焦點X射線顯微鏡檢查裝置
■焦點尺寸0.25μm，配備我公司自主研發的開放管X線源，能切換5種大小分辨率（0.4μm/0.6μm/1μm/2μm/3μm），而且，可以對現階段開發中的高分辨率X線源升級 ■采用筐體設計，提高使用性
■高速檢查機械應對功能和半自動檢查機功能
■探測器最大傾斜角度60° ，載物臺尺寸，直徑400mm
■焦點尺寸0.25μm，配備我公司自主研發的開放管X線源，能切換5種大小分辨率（0.4μm/0.6μm/1μm/2μm/3μm），而且，可以對現階段開發中的高分辨率X線源升級
■采用筐體設計，提高使用性
■高速檢查機械應對功能和半自動檢查機功能
■探測器最大傾斜角度60° ，載物臺尺寸，直徑400mm
■顯示器放大倍率7200倍，幾何放大倍率最大1200倍
■簡單的臺式操作，四種操作方法（直接移動，拖動移動，連續移動，JOG移動）
■自動將工作任務旋轉調整成整列，傾斜時從視野中看到目標地方，做為著眼點進行設定。
■顯示比例尺、自動對準、自動對焦功能
■2點間距離測量、接合線流速計算、空隙率計算軟件標準裝備
■自動移動一定距離進行拍攝的輸入發送、步驟進給功能搭載
正交型CT單元
特長
■簡單可拆裝的組合方式
■根據精度高的旋轉舞臺，實現空間分辨率1μm（注：根據樣品的大小、材質而不同）
■20毫米左右的樣品的大小對應（可搭載重量25g）
■專用的重構、視覺軟件的標準裝備、從制作3D像到測量X射線CT都可以進行觀察
加熱裝置
特長:
■簡單可拆裝的組合方式。透視檢查可以立即轉移到加熱視頻拍攝
■實現最高300度加熱至0.1～5℃/秒的升溫梯度(根據溫度設定可達到400℃)
■超群的溫度特征跟隨性。簡單設定1配置文件99點
同時使用外觀攝像機，進行表面觀察、X射線透視觀察，同時錄像
■消除加熱時的表面、背面的溫度差，再現接近回流的狀況（也可以使用N2煤氣）
■除了溫度控制用熱電對2點以外，還可以增設任意2點溫度計測用電池
■直接保存在PC上的視頻，用專用軟件將表面和X射線透視動畫同時播放
-在視頻中顯示溫度、時間、攝像條件等數據
-可將溫度計測數據以CSV形式保存
無下載資料。
無關聯產品。
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